Описание
Измерительное оборудование «ЛАПИК» создано с использованием ряда «ноу-хау». Конструктивные, схемные и технологические решения, а также программное обеспечение КИМ «ЛАПИК» защищены более 20 патентами.
Конструкция КИМ обеспечивает шесть степеней свободы рабочего органа, шесть одновременно и согласовано управляемых осей перемещения. Измерительная система отделена от силовой, что обеспечивает долговременную стабильность характеристик и точность измерений.
Выбор шестиосевой конструкции позволил существенно уменьшить массу подвижных частей и увеличить быстродействие. Благодаря отсутствию накопления погрешности на последовательных механических звеньях, обеспечивается высокая точность позиционирования инструмента. Точность и повторяемость измерений — от 1 мкм и менее.
КИМ имеет оригинальный корпус, смоделированный по специальной программе. Геометрия октаэдра обеспечивает жесткость рамы КИМ, в 5 раз превышающую жесткость традиционных машин.
КОМПЛЕКТАЦИЯ И ОПЦИИ
Кинематическая схема измерительной машины представляет собой параллельную структуру в виде перевернутой пирамиды. В основании пирамиды располагаются сферические шарниры, которые служат точками отсчета для следящей системы.
Следящая система состоит из излучателя и шести лазерных интерферометров с дискретностью отсчета перемещений 0,05 мкм, определяющих расстояния между соответствующими сферическим шарниром на неподвижной раме и элементом, расположенным на каретке. Оптическая схема излучателя когерентного света обеспечивает деление светового потока от лазера на 6 равнозначных каналов; световая энергия передается от излучателя к интерферометрам по 6 одномодовым оптоволоконным линиям. Каретка перемещается с помощью 6 мехатронных приводов. Штанги приводов работают только на растяжение-сжатие, деформация изгиба отсутствует. Конструктивно лазерные интерферометры отделены от исполнительных приводов. Это обстоятельство исключает прямое воздействие деформаций и нагрузок в приводах на следящую систему.